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高真空磁控溅射镀膜机

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高真空磁控溅射镀膜机

设备基本配置说明

专业团队研发制造,由真空系统、卷绕系统、磁控靶溅射系统、控制系统等部分组成可实现6U薄膜上溅射镀铜、铝、铅、锡、银、铬、钛等,可以在薄膜、布匹、海绵、铜箔、铝箔、纸张等多种卷材表面精确镀膜。

     室:圆形或方形

       材:铜靶、铝靶、合金靶、陶瓷靶材等。

       途:电子屏蔽膜、电子导电膜、光学膜等。

     :平面靶、圆柱靶,配备等离子清洗源

控 制 系 统:西门子、三菱等多种集成控制系统,人机界面,PLC自动控制,高精度交流伺服电机传动,恒张力卷绕,控制更稳定。

真 空 系 统:采用名牌分子泵、罗茨泵、滑阀泵等多种抽气系统,抽气速度更快,更节能环保;配置超低温冷阱,适用于任何气候环境;配置膜厚在线检测系统,可即时检测和显示膜层厚度。

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高真空磁控溅射镀膜机

设备基本配置说明

专业团队研发制造,由真空系统、卷绕系统、磁控靶溅射系统、控制系统等部分组成可实现6U薄膜上溅射镀铜、铝、铅、锡、银、铬、钛等,可以在薄膜、布匹、海绵、铜箔、铝箔、纸张等多种卷材表面精确镀膜。

     室:圆形或方形

       材:铜靶、铝靶、合金靶、陶瓷靶材等。

       途:电子屏蔽膜、电子导电膜、光学膜等。

     :平面靶、圆柱靶,配备等离子清洗源

控 制 系 统:西门子、三菱等多种集成控制系统,人机界面,PLC自动控制,高精度交流伺服电机传动,恒张力卷绕,控制更稳定。

真 空 系 统:采用名牌分子泵、罗茨泵、滑阀泵等多种抽气系统,抽气速度更快,更节能环保;配置超低温冷阱,适用于任何气候环境;配置膜厚在线检测系统,可即时检测和显示膜层厚度。

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