青州市中拓镀膜机械科技有限公司

 

中拓镀膜科技

多功能镀膜机

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多功能镀膜机



不锈钢、碳钢  Stainless steel, carbon steel
单面镀膜、双面镀膜  Single side coating, double side coating
感应蒸发、磁控溅射      Induction evaporation, magnetron sputtering
400mm-1700mm
φ500mm-φ800mm
1m/min~15m/min(2m/min~30m/min、50m/min~800m/min)
铜、铬、钛、银等               Cu, Cr, Ti, Ag, etc
PET(3.8U-300U)PI(15U-150U)铜、铝箔、无纺布、纸等各种卷材                                                               PET (3.8 u-300u) PI (15u-150u) copper, aluminum foil, non-woven fabric, paper and other coils
清洁容器抽至6X10-3Pa≤20min           Clean the container until 6x10-3pa≤20min
清洁空容器抽至8×10-4Pa≤24h          Clean empty containers and pump until 8×10-4pa≤24h
8×10-4Pa
φ500mm-φ1200mm
-25℃~80℃
平面靶、圆柱靶                 Plane target, cylindrical target
直流、中频          Dc, if
2×10-1Pa
氩气、氧气,纯度99.99%               Ar, O2, 99.99% purity
质量流量控制器控制           Mass flow controller control
采用西门子变频恒张力全自动收放卷系统        Siemens variable frequency constant tension automatic winding and unwinding system is adopted
收卷放卷端各有一条360度可调舒展辊   There is a 360-degree adjustable stretch roll at each end of winding and unwinding
西门子电机     Siemens motor
胀块式、键条式等   Bulk-type, key-bar type, etc
3″、 6″气胀轴        3 ", 6 "gas expansion axis
2000L分子泵,速度为2000升/秒                 2000L molecular pump with a speed of 2000 L/S
3600L分子泵,速度为3600升/秒                 3600L molecular pump at a speed of 3600 L/S
ZJ1200罗茨泵组,速度为1200升/秒              ZJ1200 roots pump set, speed 1200 L/S
ZJ2500罗茨泵组,速度为2500升/秒              ZJ2500 roots pump set, speed 2500 L/S
2H150滑阀泵,每台速度150升/秒                2H150 slide valve pump, 150 L/S per set
冷暖交换机组                    Heating and cooling exchange unit
深冷捕集器                      Cryogenic trap
100KW-400KW
380V  三相五线         380V   Three phase five wire

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不锈钢、碳钢  Stainless steel, carbon steel
单面镀膜、双面镀膜  Single side coating, double side coating
感应蒸发、磁控溅射      Induction evaporation, magnetron sputtering
400mm-1700mm
φ500mm-φ800mm
1m/min~15m/min(2m/min~30m/min、50m/min~800m/min)
铜、铬、钛、银等               Cu, Cr, Ti, Ag, etc
PET(3.8U-300U)PI(15U-150U)铜、铝箔、无纺布、纸等各种卷材                                                               PET (3.8 u-300u) PI (15u-150u) copper, aluminum foil, non-woven fabric, paper and other coils
清洁容器抽至6X10-3Pa≤20min           Clean the container until 6x10-3pa≤20min
清洁空容器抽至8×10-4Pa≤24h          Clean empty containers and pump until 8×10-4pa≤24h
8×10-4Pa
φ500mm-φ1200mm
-25℃~80℃
平面靶、圆柱靶                 Plane target, cylindrical target
直流、中频          Dc, if
2×10-1Pa
氩气、氧气,纯度99.99%               Ar, O2, 99.99% purity
质量流量控制器控制           Mass flow controller control
采用西门子变频恒张力全自动收放卷系统        Siemens variable frequency constant tension automatic winding and unwinding system is adopted
收卷放卷端各有一条360度可调舒展辊   There is a 360-degree adjustable stretch roll at each end of winding and unwinding
西门子电机     Siemens motor
胀块式、键条式等   Bulk-type, key-bar type, etc
3″、 6″气胀轴        3 ", 6 "gas expansion axis
2000L分子泵,速度为2000升/秒                 2000L molecular pump with a speed of 2000 L/S
3600L分子泵,速度为3600升/秒                 3600L molecular pump at a speed of 3600 L/S
ZJ1200罗茨泵组,速度为1200升/秒              ZJ1200 roots pump set, speed 1200 L/S
ZJ2500罗茨泵组,速度为2500升/秒              ZJ2500 roots pump set, speed 2500 L/S
2H150滑阀泵,每台速度150升/秒                2H150 slide valve pump, 150 L/S per set
冷暖交换机组                    Heating and cooling exchange unit
深冷捕集器                      Cryogenic trap
100KW-400KW
380V  三相五线         380V   Three phase five wire

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